進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用廣泛,在檢漏作業(yè)中,根據(jù)不同產(chǎn)品對(duì)密封的要求多采用負(fù)壓法,正壓法和壓氦法三種檢漏方法。儀器具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用,但是在長(zhǎng)時(shí)間的使用過(guò)程中常常會(huì)出現(xiàn)一些故障現(xiàn)象,從而影響設(shè)備的正常使用。那么我們?cè)趺唇鉀Q這寫故障呢?
一、進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀的故障和處理
1、內(nèi)部的泄漏
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),更換密封件。
2、本底信號(hào)不穩(wěn)定
?、俦镜仔盘?hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開(kāi)通風(fēng),降低環(huán)境本底。
?、诒镜仔盘?hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí),質(zhì)譜室很容易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。
?、郾镜仔盘?hào)不穩(wěn)定,檢查泵油是否渾濁,被污染。
二、進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)
1、如果儀器不是每天使用,建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間
2、拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進(jìn)行自身檢漏。
3、適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊,以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。
4、檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)
5、禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上,尤其是進(jìn)氣口中,由于氦檢漏儀為高精度儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師,才能使用此儀器。
6、使用時(shí),注意觀察進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀的運(yùn)行情況,一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題(如較大振動(dòng)、高噪音等),儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源,并排除故障。